IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing《IEEE半导体制造汇刊》 （官网投稿）

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工程技术-ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC工程：电子与电气；PHYSICS, APPLIED物理：应用；PHYSICS, CONDENSED MATTER物理：凝聚态物理；ENGINEERING, MANUFACTURING工程：制造。研究复杂微电子元件（尤其是超大规模集成电路）制造领域的核心难题；这类产品的制造工艺要求极高，涉及精密微图形加工、材料特性的精准控制、超净生产环境，以及化学、物理、电气与机械过程之间的复杂相互作用。