Journal of Vacuum Science & Technology A《真空科学与技术杂志A》 （官网投稿）

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材料科学-MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS材料科学：膜；PHYSICS, APPLIED物理：应用。专注于发表关于材料界面与表面、薄膜及等离子体领域的原创研究；收录范围包括（但不限于）以下主题：应用与基础表面科学；原子层沉积与原子层刻蚀；电子与光子材料及其加工工艺（包括二维材料）；磁性薄膜与界面；能源转换与存储材料及薄膜；光伏技术（涵盖薄膜太阳能电池、有机与杂化太阳能电池）；等离子体科学与技术（包括等离子体-表面相互作用、等离子体诊断、等离子体沉积与刻蚀，以及等离子体在微纳电子学中的应用）；表面涂层与工程；薄膜沉积技术（包括物理与化学气相沉积、分子束外延）；薄膜性能与表征；透射电子显微镜技术（含原位方法）；摩擦学。