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电子工业专用设备 (Email投稿)

简介
《电子工业专用设备》(双月刊)创刊于1971年,是由中国信息产业部主管,中国电子科技集团公司第四十五研究所主办。是以报道国内外半导体设备为主,反映微电子制造前/后道的新工艺、新设备在科研、技术工程和应用方面的发展趋势与成就的主要刊物。主要栏目:趋势与展望、专题报道、新设备与新工艺、封装技术与测量、设备改造与维护等。
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